電子特種氣體是集成電路、平板顯示、發(fā)光二極管、太陽能電池等半導體行業(yè)生產(chǎn)制造過程中不可或缺的關鍵性化工材料,被廣泛的應用 于清洗、刻蝕、成膜、摻雜等工藝。特種氣體在集成電路領域的應用:特種氣體是半導體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐材料,處于半導體產(chǎn)業(yè)鏈的 上游,被稱為半導體的“源”,主要應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。滅菌特種氣體主要應用于(繃帶、縫線及手術器具)、包裝、紡織品、橡塑制品、化妝、糧食等產(chǎn)品及貯藏方面的殺菌。
特種氣體的儲存注意事項:根據(jù)儲存的氣體類型設置標牌,如“嚴禁明火”、“危險”、“禁止入內(nèi)”等等。并配置消防器材、噴淋系統(tǒng)、吸收劑、中和劑、防毒面具、空氣呼吸器等設施。特種氣體的儲存注意事項:為防止高壓容器跌倒、滾落、損壞、閥門泄漏等造成安全隱患,存放場地需平坦,操作需謹慎、輕柔;并用鏈條、繩索等將其固定在靠墻等堅固位置。滅菌特種氣體可殺滅細菌(及其內(nèi)孢子)、霉菌及真菌,因此可用于消毒一些不能耐受高溫消毒的物品。
特種氣體的重要性:電子特種氣體決定了集成電路的終良率和可靠性。由于電子氣體用途多,用量大。所以電子氣體也直接決定了 終芯片的良率和可靠性,特種氣體在集成電路領域的應用:特種氣體是半導體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐材料,處于半導體產(chǎn)業(yè)鏈的 上游,被稱為半導體的“源”,主要應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。特種氣體在太陽能電池中的應用:非晶硅太陽能 電池在 LPCVD 沉積 TCO 工序用到 DEZn、B2H6;非晶/微晶硅沉積工序用到 SiH4、PH3/H2、 TMB/H2、CH4、NF3 等。