氣體的監測和分析是檢查氣體質量、確保用氣點或用氣設備能所用高純氣體的重要手段，也是保證安全生產的重要措施。高純氣體的監測與分析，只有采用先進的分析方法和精密的分析儀器，才能獲得精i確的分析數據。氣體監測和分析的重要性隨著晶片的幾何結構縮小，集成電路集成度的不斷提高，即使有極微量的氣態雜質的沾污和的塵埃污染，也會給生產帶來嚴重的破壞性。
工業氣體是指氧、氮、氬、氙、氫、二氧化碳、乙i炔、等。氣體工業名詞術語（標準氣體、高純氣體、特種氣體）1。特種氣體(Specialtygases)：指那些在特定領域中應用的,對氣體有特殊要求的純氣、高純氣或由高純單質氣體配制的二元或多元混合氣。1。特種氣體：指那些在特定領域中應用的,對氣體有特殊要求的純氣、高純氣或由高純單質氣體配制的二元或多元混合氣。2、標準氣體：標準氣體屬于標準物質。
標準氣體充裝規則1、標準氣體充裝前應先編制充裝程序，確保充裝過程安全可行，充裝時選擇優化的操作工藝，一般按組分濃度和分壓，遞增的次序充入組分。2、混合氣中含可凝結組分時，充裝壓力應在i低使用溫度下，可凝結組分的分壓不超過該溫度時其飽和蒸汽壓的70%。3、充裝的混合氣體應確保組分之間的相容性，禁止充裝、范圍內的混合氣體，不充裝易發生化學反應的氣體。4、含有毒組分的混合氣體在充裝過程中，管道內的殘氣禁止排入室內或大氣中，必須經解i毒或回收處理后才能放空。
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